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Model 227**高纯压力传感器


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表压、复合压、绝压可选
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PSI 或BAR 量程可选
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1 1/8" 下法兰安装
Setra 的227 型传感器**于当今的300mm 工具所要求的高密度、模块式block
气体棒和面板。227 型1-1/8" 的占地面积优化了有价值的空间,其坚固的设计使
其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应
用。
与其它具有较大死端空泡体积的设计不同,227 型具有一个方便洗涤的小排量
传感器舱。所有湿润部件均为优质VAR 316L SS 材料,电解抛光至5 Ra(10
max.)的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达1 x 10-9 /sec 的氦
渗漏试验。
可选择5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 输出,227 型可提供±0.25% 全量程或
±1.0% 的读数精度。227 型配备了一个节省空间的1 1/8" C 型密封件下安装接口
底座,并可选择多芯电缆、4 针bayonet 连接器和一个9 针或15 针D 型连接器
用于电气终端。加上327 型的1-1/8" 可旋转显示器,该产品包达到了压力测量
及显示的较致。
该*特设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节,可选择**压、
表压或复合压。
Setra 获**的可变电容传感器的特点在于一个316L 不锈钢膜片和一个绝缘电极
板。在传感器主体和电极板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微
变圆,从而增加了电容。 通过Setra *特的定制集成电路检测电容值的变化,并
利用获**的电荷平衡原理将其转换成高度精准的线性DC 电信号。
Setra 的整个**高纯系列均基于Setra 的被广泛认可的电容传感技术,高度精准和
稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/ 射频干扰(EMI/RFI)。
应用
●模块式1-1/8" 气体棒和面板
●高纯气体传输系统
●半导体工艺工具
好处
■ 出色的稳定性,可避免停机
■ 抗EMI / RFI 功能防止假停机
■ 符合CE 标准
压力范围
0 psig, 0 psia
或
-14.7 psig 至:
Bar
量程
-1 或 0 至:
耐力
(psi)
爆破耐力
(psi)
25
50
100
250
500
1000
2000
3000
1.7
3.4
7
17
35
70
138
200
40
75
150
350
650
1250
2500
3500
1500
3000
3000
5000
7500
7500
8000
10,000
U l t r a H i g h P u r i t y ( **高纯应用压力传感器)
我们提供所有Setra 产品的应用帮助,其中包括人员帮助和文献帮助,
而客户有责任确定该产品的适用性。
227 型的技术规格
性能数据
精确RSS*( 恒定温度下):读数±1.0%或±0.25%全量程
非线性,BFSL :±0.15% 全量程
滞后:0.20% 全量程
非重复性:0.02% 全量程
热效应**
补偿范围oF(℃):+15 至+150(-9 到+65)
零点漂移 %FS/100 oF(50℃ ):2.0(1.8)
范围漂移 %FS/100 oF(50℃ ):2.0(1.8)
加热漂移:0.1% 全量程
** 在额定70 oF 下校验过的设备。
根据此数据而计算的zui 大温度误差。
环境数据
温度
工作温度*oF(℃):-40 至+185(-40 到+85)
储存温度oF(℃):-40 至+185(-40 到+85)
* 工作温度仅是电子设备的温度极限。
受压媒介的温度可能要高或低很多。
物理描述
外壳:不锈钢
电气连接:182.88cm. 多芯电缆,Bayonet
连接器或D- 型连接器
压力接头:下安装“C”型密封
通风:通过零点和范围接近孔
重量:6.5 oz(184g)
电气数据(电压)
电路:3 根导线(Exc、Out、Com)
激励:10 至 30 VDC(5V FSO)
13 至 30 VDC(10V FSO)
输出* : 0 至5 VDC 或0.2 至5.2 VDC**
0 至10 VDC 或0.2 至10.2 VDC**
电流消耗:<8 mA
* 校准精度为50K ohm负荷,可操作5000 ohm或更大的负荷。
** 零点输出的出厂设置在± 25 mV 之内(限5 VDC 输出)
或±50mV(限10 VDC 输出)。
** 范围(全量程)输出的出厂设置在± 25 mV 之内
( 限5 VDC输出)或±50mV(限10 VDC 输出)。
电气数据(电流)
电路:2 根导线
输出* :4 至 20 mA**
外部负荷:0 至800 Ohm
zui 大电源电压(VDC)= 10 + 0.02 x( 接收器正极导线的电阻)。
zui 大电源电压(VDC)= 30 + 0.004 x( 接收器正极导线的电阻)。
* 出厂时以24 VDC 回路电压和一个250 ohm 负荷,进行校准。
** 零点输出的出厂设置在± 0.08 mA 之内。
** 范围(全量程)输出的出厂设置在± 0.08mA 之内。
压力媒介
与316L 不锈钢相兼容的液体或气体。
产品规格如有变更,恕不另行通知。
外形图
2.71
68.83
传感器范围及零点调节
0.26
66
0.81
20.57
1.13
28.70
?1.05
?26.67
1.23
31.24
15 针D 型
3.66
92.96
小排量传感器舱
?1.00?25.4?0.86  1.84
1.13
28.70
0.86
20.32
0.86
20.32
?0.19
?4.83
安装孔
in
mm
2 2 7 1 E 5
型号范围压力压力接头输出电气终端精度
2271 = 227 025P = 25 PSI 007B = 7 BAR
050P = 50 PSI 017B = 17 BAR
100P = 100 PSI 035B = 35 BAR
250P = 250 PSI 070B = 70 BAR
500P = 500 PSI 200B = 200 BAR
10CP= 1000 PSI
20CP= 2000 PSI
39CP = 3000 PSI
A = **压
C= 复合压
G = 表压
E5 = 下安装“C”型密封
(1.125”底座)
11 = 4~20mA
2B = 0~5 VDC
2C = 0~10VDC
33 = 0.2~5.2VDC
59 = 0.2~10.2VDC
06 = 6 ft. 多芯电缆
B1= 4 引脚Bayonet 接头
D9= 9 针D 型接头
D1= 15 针D 型接头
M1= 5 针微型DIN 接头
F = ±0.25% 全量
程(有检定证
书)
J = ±1.0% 读数
(有检定证书)
订购信息
写出表格内所有方框内的代码。
示例:量程0 至100 PSIG,下安装“C”型密封法兰,输出4-20 mA,15 针D 连接器,读数精度为±0.25% 全量程的217 型变送器,
其零件号为2271100PGE511D1F。


Model,227**高纯压力传感器setra西特